[发明专利]一种SIH膜制备方法、红外带通多层膜制备方法有效
| 申请号： | 202010045219.9 | 申请日： | 2020-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN111235521B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 陆张武;王迎;李恭剑;徐征驰 | 申请（专利权）人： | 浙江晶驰光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/34;C03C17/22 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 张海兵 |
| 地址： | 318001 浙江省台州市椒江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种SIH膜制备方法、红外带通多层膜制备方法，属于镀膜技术领域。SIH膜制备方法包括：步骤S01，对溅射镀膜机腔体抽真空；步骤S02,将玻璃基片置于镀膜腔室内加热；步骤S03,利用等离子气体Ar,对玻璃基片进行ICP离子预清洗；步骤S04,在靶材附近充入Ar和H2,在直流脉冲模式下用Ar和H2轰击Si靶,在玻璃基片的沉底上形成SIH膜。红外带通多层膜制备方法包括：步骤S10,采用上述方法在玻璃基片上制备SIH膜；步骤S20，在腔体内部充入Ar和O2，用Ar轰击Si靶，生成SiO2膜；步骤S30，重复步骤S10‑S20形成红外带通多层膜。本发明生产成本低，产能高，能生产出N3.68,k0.0002特性的SIH膜和低角度效应的红外带通滤光片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sih 制备 方法 外带 多层 | ||
【主权项】：
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