[发明专利]用于沉积法镀膜的设备及控制镀膜厚度的系统和方法

摘要

本发明涉及测量系统技术领域，提供了用于沉积法镀膜的设备及控制镀膜厚度的系统和方法。该控制镀膜厚度的系统包括电容装置、电容值测量模块、控制器和设于镀膜设备的沉积气阀门；电容装置设于镀膜设备内并与电容值测量模块相连；电容值测量模块与控制器相连，电容值测量模块用于测量电容装置的电容值并将电容值发送给控制器，控制器用于将接收到的电容值与预设电容阈值比较，若接收到的电容值大于预设电容阈值，则控制沉积气阀门停止向镀膜槽内通入沉积气。由于在镀膜设备内设置了电容装置，在镀膜设备通入沉积气的过程中可以通过电容值来检测镀膜厚度，从而实现对镀膜厚度的控制。