[发明专利]一种复合基板及其制造方法、表声波谐振器及其制造方法在审
| 申请号： | 202010054453.8 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN113141165A | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 黄河;罗海龙;李伟;齐飞 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种复合基板及其制造方法、表声波谐振器及其制造方法，其中复合基板的制造方法包括：提供第一基板；在所述第一基板上沉积衬垫层，所述衬垫层至少包括多晶材料层；在所述多晶材料层上通过物理或化学沉积方法沉积用于产生声波谐振的压电感应薄膜；对所述压电感应薄膜进行再结晶退火处理，使所述压电感应薄膜达到多晶态，其中所述结晶退火包括升温过程和冷却过程，所述升温过程包括对所述压电感应薄膜进行升温使所述压电感应薄膜达到熔融状态。所述复合基板包括：第一基板；衬垫层，位于所述第一基板上表面，所述衬垫层至少包括多晶材料层；用于产生声波谐振的压电感应薄膜，位于所述多晶材料层上方，所述压电感应膜为多晶态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 及其 制造 方法 声波 谐振器 | ||
【主权项】：
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