[发明专利]一种半导体精密阀门镜面处理方法有效
| 申请号： | 202010054672.6 | 申请日： | 2020-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111230601B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 苏毅昌;何伟湛;关复烨 | 申请（专利权）人： | 广东罗庚机器人有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B49/00;B24B49/16;B24B47/20;B24B37/02 |
| 代理公司： | 广州君咨知识产权代理有限公司 44437 | 代理人： | 刘智君 |
| 地址： | 528000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体精密阀门镜面处理方法，应用于自动化设备对半导体精密阀门的加工中，本发明通过自动化设备夹持多种耗材对半导体精密阀门的各个面的不同尺寸的孔循序渐进地进行精密研磨和抛光处理，有效解决了人手打磨带来的劳动强度大、生产效率低、产品质量不稳定和耗材损耗快等问题，实现了半导体精密阀门打磨和抛光的自动化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 精密 阀门 处理 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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