[发明专利]一种碳化硅纤维表面连续制备复合界面层的设备及方法

摘要

本发明涉及一种碳化硅纤维表面连续制备复合界面层的设备及方法，该设备包括第一沉积室、至少一个过渡沉积室，在任意两个相邻的沉积室之间设置有隔离室，所述隔离室通入有惰性气体，且所述隔离室内惰性气体的气压高于相邻的两个沉积室的室内气压，使得相邻的两个沉积室中的气体在气压差的作用下相互隔离，不会流入隔离室；每个沉积室中设置有滚轮组，用于纤维束导向。本发明解决了：分批次沉积界面层，同一炉次不同炉位的界面层厚度，和同一炉位不同炉次的界面层厚度都很难实现均匀。每一炉次沉积，SiC纤维随着炉体一起升温和降温，在高温下处理时间过长，纤维强度下降明显等的技术问题。