[发明专利]一种显示基板及其制备方法、显示装置有效
| 申请号： | 202010067903.7 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111244035B | 公开（公告）日： | 2023-02-07 |
| 发明（设计）人： | 刘宁;王海涛;胡迎宾;王庆贺;宋威;倪柳松 | 申请（专利权）人： | 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/77 | 分类号： | H01L21/77;H01L27/12;H01L21/311 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 230012 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明实施例提供一种显示基板及其制备方法、显示装置，涉及显示技术领域，可确保刻蚀后的无机绝缘层的形貌为预先设计的尺寸。一种显示基板的制备方法，包括：在衬底上形成无机绝缘薄膜；利用刻蚀液对所述无机绝缘薄膜进行刻蚀，以得到无机绝缘层；其中，所述刻蚀液包括氢氟酸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显示 及其 制备 方法 显示装置 | ||
【主权项】：
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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