[发明专利]一种多工器及其制造方法有效

专利信息
申请号: 202010069400.3 申请日: 2020-01-21
公开(公告)号: CN111244083B 公开(公告)日: 2021-04-16
发明(设计)人: 庞慰;蔡华林 申请(专利权)人: 诺思(天津)微系统有限责任公司
主分类号: H01L25/18 分类号: H01L25/18;H01L21/98
代理公司: 北京汉智嘉成知识产权代理有限公司 11682 代理人: 姜劲;谷惠敏
地址: 300457 天津市滨*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明涉及滤波器技术领域,特别地涉及一种多工器及其制造方法,该多工器包括至少两个芯片组,每个芯片组包括两个位于同一频带的芯片,分别为接收芯片和发送芯片;不同频带的两个芯片上下叠加设置,从而形成多个叠加结构;相邻的叠加结构之间设有限定间距;对于各个所述叠加结构,上方的芯片和下方的芯片之间设有限定间隔,上方的芯片包括第一晶圆,下方芯片包括第二晶圆,第二晶圆上的谐振器及管脚与第一晶圆上的谐振器及管脚相向设置。本发明技术方案中,芯片间的耦合可通过调节叠加芯片之间的间隔来来减小或者避免,进而避免影响多工器的性能;在确保多工器性能的前提下,可进一步减小其平面面积,利于多工器向小型化方向发展。
搜索关键词: 一种 多工器 及其 制造 方法
【主权项】:
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