[发明专利]双台面曝光机及控制双台面曝光机开关门的方法在审
| 申请号： | 202010081788.9 | 申请日： | 2020-02-06 |
| 公开（公告）号： | CN111308863A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 张浩为 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 贾玉姣 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种双台面曝光机和控制双台面曝光机开关门的方法，该双台面曝光机包括机体，机体包括第一台面和第二台面；第一门体和第二门体，第一门体位于第一台面之上且与第一台面之间具有间隙，第二门体位于所述第二台面之上且与第二台面之间具有间隙，在垂直于台面方向上，第一门体与第二门体错开；电动执行装置，设置在机体上且与第一门体和第二门体机械连接，用于根据第一门体驱动信号控制所述第一门体在平行于台面方向移动；控制装置，与电动执行装置电连接，用于根据操作指令输出第一门体驱动信号或者所述第二门体驱动信号。本发明的双台面曝光机可以阻挡外部灰尘进入台面，避免造成曝光不良。 | ||
| 搜索关键词： | 台面 曝光 控制 开关 方法 | ||
【主权项】：
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