[发明专利]显微试片制备方法、装置及记录介质在审
| 申请号： | 202010082608.9 | 申请日： | 2020-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN113310758A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 洪世玮;李正中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N23/04;G01N23/2251;G01N25/18;G01N21/31;G01N23/201;B23K26/38;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种显微试片制备方法、装置及记录介质。此方法包括下列步骤：撷取待测对象的测试影像；辨识测试影像中的多个测试样本，并根据辨识结果从测试影像中选择关注区域；利用激光切割关注区域中的测试样本，以产生间隙排列的测试样本作为多个目标样本；以及利用聚焦离子束切削各个目标样本为目标形状，以制备显微试片。 | ||
| 搜索关键词： | 显微 试片 制备 方法 装置 记录 介质 | ||
【主权项】：
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