[发明专利]集成电路器件在审
申请号: | 202010084287.6 | 申请日: | 2020-02-10 |
公开(公告)号: | CN111933683A | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 慎居明;朴判貴;李承勋 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/08;H01L29/78 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 赵南;张青 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种集成电路(IC)器件包括:在第一方向上纵向延伸的鳍型有源区;在鳍型有源区的鳍顶表面上在第二方向上彼此交叠的多个纳米片;以及在鳍型有源区上并在第一方向上面向所述多个纳米片的源极/漏极区域。所述多个纳米片包括所述多个纳米片当中最靠近鳍型有源区的鳍顶表面并在第一方向上具有最短长度的第一纳米片。源极/漏极区域包括源极/漏极主区域以及从源极/漏极主区域突出的第一源极/漏极突出区域。第一源极/漏极突出区域从源极/漏极主区域朝着第一纳米片突出并在第二方向上与所述多个纳米片的部分交叠。 | ||
搜索关键词: | 集成电路 器件 | ||
【主权项】:
暂无信息
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