[发明专利]具备行驶及引导功能的滚轮单元及利用其的托盘移送系统在审
| 申请号： | 202010084861.8 | 申请日： | 2020-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN112309929A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 吴珖根;河在福 | 申请（专利权）人： | BNS株式会社;HNS株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677 |
| 代理公司： | 成都超凡明远知识产权代理有限公司 51258 | 代理人： | 金相允;洪玉姬 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及具备行驶及引导功能的滚轮单元，具备行驶及引导功能的滚轮单元连结于用于移送基板的托盘，具备相对于水平面倾斜地附着的引导滚轮，在沿着具有倾斜端面的行驶轨道行驶期间，防止引导滚轮从行驶轨道脱离，可以稳定地行驶，具备行驶及引导功能的滚轮单元包括：旋转单元，所述旋转单元能旋转地安装于托盘的底座；脚轮块，所述脚轮块借助连结构件而连结于旋转单元，具有向左右侧下方倾斜的端面部；引导滚轮，所述引导滚轮在脚轮块的左右侧倾斜端面部结合多个。因此，本发明的具备行驶及引导功能的滚轮单元由于同时具备行驶及引导功能的结构，因而在具有滚轮单元稳定地行驶的同时，可以防止滚轮单元从行驶轨道脱离的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 具备 行驶 引导 功能 滚轮 单元 利用 托盘 移送 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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