[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202010092192.9 | 申请日: | 2020-02-14 |
公开(公告)号: | CN112542507A | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 河野洋志;蟹江创造;深津茂人;铃木拓马 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/78 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 牛玉婷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 实施方式的半导体装置具备碳化硅层,该碳化硅层具有元件区域和设置在元件区域的周围的末端区域,末端区域具有沿第1方向延伸的第1直线部、沿第2方向延伸的第2直线部、以及第1直线部与第2直线部之间的角部,并且末端区域具有:第2导电型的第2碳化硅区域,包围元件区域,呈由第1点部和第1空间部构成的点线状,角部的第1点部所占的比例大于第1直线部的第1点部所占的比例;以及第2导电型的第3碳化硅区域,包围第2碳化硅区域,呈由第2点部和第2空间部构成的点线状,角部的第2点部所占的比例大于第1直线部的第2点部所占的比例。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社,未经株式会社东芝;东芝电子元件及存储装置株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202010092192.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类