[发明专利]掩膜版有效
申请号: | 202010102990.5 | 申请日: | 2020-02-19 |
公开(公告)号: | CN111270201B | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 潘旭;张帅;古春笑;杨斌;杨硕 | 申请(专利权)人: | 昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 范坤坤 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种掩膜版。该掩膜版包括掩膜版框架、至少一条掩膜条和至少一个第一弹性连接部;至少一个第一弹性连接部固定于掩膜版框架上,并与一掩膜条第一方向的一个端部连接,弹性连接部对掩膜条具有第一拉力,第一拉力对掩膜条产生的形变在掩膜条的弹性形变范围内,且第一拉力的方向为掩膜条第一方向的端部指向第一弹性连接部的方向。掩膜条第一方向的一个端部通过第一弹性连接部固定于掩膜版框架上,使第一弹性连接部对掩膜条具有第一拉力,从而可以降低掩膜条因重力引起的掩膜条的下垂,提高蒸镀时掩膜版与待蒸镀基板的贴合度,进而提高了掩膜版的蒸镀精度,降低了待蒸镀基板蒸镀后的像素错位及混色等风险。 | ||
搜索关键词: | 掩膜版 | ||
【主权项】:
暂无信息
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