[发明专利]半导体制造装置构件、半导体制造装置、显示器制造装置在审
| 申请号： | 202010107275.0 | 申请日： | 2020-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN111627790A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 新田安隆;和田琢真;滝沢亮人 | 申请（专利权）人： | TOTO株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 李雪春;阎文君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可减少粒子的半导体制造装置用构件。具体而言，提供一种如下半导体制造装置用构件，具备：基体材料，包括第1面、与所述第1面发生交叉的第2面、连接所述第1面与所述第2面的棱部分；及抗粒子层，覆盖所述第1面、所述第2面、所述棱部分，包含多结晶陶瓷，该抗粒子层包括：设置于所述棱部的第1抗粒子层；及设置于所述第1面的第2抗粒子层，所述第1抗粒子层的抗粒子性高于所述第2抗粒子层的抗粒子性。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 制造 装置 构件 显示器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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