[发明专利]沉积源蒸发设备在审
| 申请号： | 202010110513.3 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN111621748A | 公开（公告）日： | 2020-09-04 |
| 发明（设计）人： | 安秉九;金京汉;车敏徹;朴在穆;赵源锡;郑基菜;赵渊衡 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 张晓;韩芳 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种沉积源蒸发设备。该沉积源蒸发设备包括：坩埚组，用于容纳沉积源；喷射单元，位于坩埚组上；加热器，位于坩埚组中用于加热坩埚组以通过喷射单元蒸发沉积源；以及防热辐射板，围绕喷射单元以阻挡喷射单元的侧面的热辐射。坩埚单元和防热辐射板中的至少一个包括碳纤维复合材料。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 蒸发 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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