[发明专利]载置台及基板处理装置在审
| 申请号： | 202010112504.8 | 申请日： | 2020-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN111613510A | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 小岩真悟 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/683;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种用于对接合层进行保护的载置台及基板处理装置。该载置台包括：基台；基板载置部，设置在所述基台的上表面上；环形部件载置部，设置在所述基台的上表面上且设置在所述基板载置部的外侧；第一接合层，将所述基台与所述基板载置部接合；第二接合层，将所述基台与所述环形部件载置部接合；环形部件，被放置在所述环形部件载置部上；以及密封部件，对所述第一接合层和所述第二接合层进行保护。 | ||
| 搜索关键词： | 载置台 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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