[发明专利]研削装置及研削方法有效
| 申请号： | 202010116517.2 | 申请日： | 2020-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN112454161B | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 川崎贵彦;野村和史 | 申请（专利权）人： | 铠侠股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B9/06;B24B37/013;B24B49/12;B24B53/017;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施方式涉及一种研削装置及研削方法。实施方式的研削装置其特征在于：工作台，保持衬底；磨石驱动部，可在保持磨石的状态下旋转；以及位置调整部，调整磨石驱动部与工作台的相对位置。磨石包括：具有第1研削面及第2研削面的阶差，磨石驱动部的旋转中心与第1研削面的第1距离和旋转中心与第2研削面的第2距离不同。位置调整部将相对位置从使第1研削面与衬底的端面接触的第1状态调整为使第2研削面与端面接触的第2状态。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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