[发明专利]复合膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010116872.X 申请日: 2020-02-25
公开(公告)号: CN111363183B 公开(公告)日: 2022-09-06
发明(设计)人: 黄双武;傅昕 申请(专利权)人: 深圳赛兰仕科创有限公司
主分类号: C08J7/043 分类号: C08J7/043;C08J7/044;C08J7/06;C08L27/18;C08L71/12;C08L81/06;C08L61/16;C08L79/08
代理公司: 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人: 刘羽
地址: 518107 广东省深圳市光明区凤凰*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及电子材料领域,公开了一种复合膜及其制备方法,该方法包括以下步骤:对低k材料基膜进行表面处理;将超低介电常数材料涂覆在低k材料基膜一侧面上以形成超k材料涂层;将导电材料沉积在超k材料涂层远离低k材料基膜的一侧面上以形成导电层,对所述预备复合膜进行热处理及固化处理,得到复合膜。本发明能够降低复合膜的介电常数和介电损耗的同时,还能够提高低k材料基膜与导电层之间粘结性。
搜索关键词: 复合 及其 制备 方法
【主权项】:
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