[发明专利]复合膜及其制备方法有效
申请号: | 202010116872.X | 申请日: | 2020-02-25 |
公开(公告)号: | CN111363183B | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 黄双武;傅昕 | 申请(专利权)人: | 深圳赛兰仕科创有限公司 |
主分类号: | C08J7/043 | 分类号: | C08J7/043;C08J7/044;C08J7/06;C08L27/18;C08L71/12;C08L81/06;C08L61/16;C08L79/08 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 刘羽 |
地址: | 518107 广东省深圳市光明区凤凰*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及电子材料领域,公开了一种复合膜及其制备方法,该方法包括以下步骤:对低k材料基膜进行表面处理;将超低介电常数材料涂覆在低k材料基膜一侧面上以形成超k材料涂层;将导电材料沉积在超k材料涂层远离低k材料基膜的一侧面上以形成导电层,对所述预备复合膜进行热处理及固化处理,得到复合膜。本发明能够降低复合膜的介电常数和介电损耗的同时,还能够提高低k材料基膜与导电层之间粘结性。 | ||
搜索关键词: | 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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