[发明专利]掩模板的清洗系统和清洗方法在审
| 申请号： | 202010121194.6 | 申请日： | 2020-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN111215398A | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 郑立明 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00;B08B3/08 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 范坤坤 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种掩模板的清洗系统和清洗方法。该掩模板的清洗系统包括：掩模板支撑设备和清洗设备，所述掩模板支撑设备用于支撑掩模板；所述清洗设备用于向所述掩模板的表面吹超声波气体，所述超声波气体为经超声波处理的气体；所述超声波气体的流速大于预设速度，以在所述掩模板表面形成空化泡，清洗所述掩模板表面的污渍。与现有技术相比，本发明实施例在确保对掩模板的清洗效果的基础上，减少了药液用量、减少了产生的废液量以及降低了危险性。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 清洗 系统 方法 | ||
【主权项】：
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