[发明专利]气浮轴承装置、运动台以及光刻设备有效
| 申请号： | 202010124737.X | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN113309785B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 王昱 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | F16C32/06 | 分类号： | F16C32/06;F16C33/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气浮轴承装置、一种运动台和一种光刻设备。气浮轴承装置包括气浮单元和支撑单元，气浮单元中轴承主体的安装面设置有第一调节结构，支撑单元中支座主体设置有贯穿表面的安装孔，调节块从支座主体一侧可拆卸且高度可调地设置在安装孔内，调节块一端设置有第二调节结构。调整调节块在安装孔内的高度可以调整气浮单元，气浮轴承装置的各部件间为可拆卸连接，可以实现快速对气浮单元进行安装、更换以及调试。本发明提供一种运动台，包括运动台框架、导轨和气浮轴承装置。对运动台中的气浮轴承装置进行安装和维护时不需要把运动台框架大幅度提升，可以提升运动台安装和维护的效率。本发明还提供一种光刻设备。 | ||
| 搜索关键词： | 轴承 装置 运动 以及 光刻 设备 | ||
【主权项】：
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