[发明专利]一种标定尺及利用该标定尺的位置标定方法有效
| 申请号： | 202010125179.9 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111221224B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 刘栋;张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种标定尺及利用该标定尺的位置标定方法，该标定尺为长条状，固定在工件台一侧，随工件台同步运动，标定尺的表面涂覆有感光材料，通过曝光，可以在感光材料上形成曝光标记，曝光后，随着时间的消逝，标记逐渐变淡，最终消失，由此可以在标定尺上重复进行曝光，实现重复利用。标定尺组装完毕后，固定到工件台一侧。与曝光相关的组件位置关系，可以通过在标定尺上曝光标记，通过测量工件台的位置获得相关位置关系。所采用的的移动机构只涉及工件台的移动机构，避免了多个移动机构之间的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 标定 利用 位置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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