[发明专利]惯性传感器、电子设备以及移动体有效
| 申请号： | 202010125887.2 | 申请日： | 2020-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN111623760B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 泷泽照夫 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 沈丹阳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及惯性传感器、电子设备以及移动体。惯性传感器具有：基板；第一惯性传感器元件，设置于上述基板；盖，以覆盖上述第一惯性传感器元件的方式与上述基板接合；第一驱动信号端子，设置于上述盖的外侧，上述第一驱动信号端子是向上述第一惯性传感器元件施加的驱动信号用的端子；以及第一检测信号端子，设置于上述盖的外侧，上述第一检测信号端子是上述第一惯性传感器元件输出的检测信号用的端子，在俯视观察上述基板时，上述第一驱动信号端子与上述第一检测信号端子设置成之间隔着上述盖。 | ||
| 搜索关键词： | 惯性 传感器 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
暂无信息
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