[发明专利]化学机械抛光系统以及相关的派工管理方法有效
| 申请号： | 202010134312.7 | 申请日： | 2020-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN113361833B | 公开（公告）日： | 2022-05-24 |
| 发明（设计）人： | 隋珍玉;尹又生;徐丙新;刘涛;谈文毅 | 申请（专利权）人： | 联芯集成电路制造(厦门)有限公司 |
| 主分类号： | G06Q10/06 | 分类号： | G06Q10/06;G06Q50/04;G06N3/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 李芳华 |
| 地址： | 361100 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 电脑上试运行的派工管理方法，包含：产生多组初始化工作调度；根据适应度参数来对所述初始化工作调度进行筛选以产生多组中间工作调度；分别对所述中间工作调度进行交叉运算以产生多组交叉后工作调度；分别对所述中间工作调度以及所述交叉后工作调度的内容进行变异运算以产生多组变异后工作调度；对所述中间工作调度、交叉后工作调度以及变异后工作调度进行最佳化运算以产生目标工作调度；以及自动地根据该组目标工作调度来进行对应CMP机台的派工。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 机械抛光 系统 以及 相关 管理 方法 | ||
【主权项】：
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G06 计算；推算；计数
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
G06Q10-00 行政；管理
G06Q10-02 .预定，例如用于门票、服务或事件的
G06Q10-04 .预测或优化，例如线性规划、“旅行商问题”或“下料问题”
G06Q10-06 .资源、工作流、人员或项目管理，例如组织、规划、调度或分配时间、人员或机器资源；企业规划；组织模型
G06Q10-08 .物流，例如仓储、装货、配送或运输；存货或库存管理，例如订货、采购或平衡订单
G06Q10-10 .办公自动化，例如电子邮件或群件的计算机辅助管理
G06Q 专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的数据处理系统或方法；其他类目不包含的专门适用于行政、商业、金融、管理、监督或预测目的的处理系统或方法
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