[发明专利]一种气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010138796.2 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111239224A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 李汶懋;于洪宇;罗伯特·索科洛夫斯基;汪青;何明浩 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G01N27/414 | 分类号： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆;潘登 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种气体传感器及其制备方法，该气体传感器包括：衬底；至少两个气体传感单元，位于半导体衬底上，气体传感单元包括异质结，位于异质结之上的源极、漏极以及功能性膜层构成的栅极，其中，气体传感单元之间的异质结相互隔断，功能性膜层用于探测气体，且不同气体传感单元中的功能性膜层能够探测的气体不同，钝化层，覆盖除功能性膜层以外的全部器件区域，实现将多个不同功能的气体传感器集成，降低成本的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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