[发明专利]一种多通道喷射电沉积装置在审
| 申请号： | 202010140039.9 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN111304710A | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 魏永生;王茂森;付文英;赵晨浩;韦露;赵新生 | 申请（专利权）人： | 江苏师范大学 |
| 主分类号： | C25D5/08 | 分类号： | C25D5/08;C25D17/02;C25D3/12;C25D3/54;C25D21/12 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 221116 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多通道喷射电沉积装置，包括第一导轨、第二导轨和喷头，第一导轨利用滑块滑动连接在第二导轨两端，喷头活动地安装在第二导轨上，喷头具有多通道，且与电源的正极相连，并正对着下端连有电源负极的底板，喷头通过喷液泵与溶液槽相连，底板通过吸液泵与溶液槽相连，喷液泵和吸液泵分别与控制器相连。该装置能够实现电沉积装置多通道交替喷镀，喷镀位置精确，电沉积效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 喷射 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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