[发明专利]一种单组份分子玻璃及其制备方法和应用在审
申请号: | 202010141743.6 | 申请日: | 2020-03-04 |
公开(公告)号: | CN111302979A | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 郑祥飞;徐亮;孙小侠;纪昌炜 | 申请(专利权)人: | 苏州瑞红电子化学品有限公司 |
主分类号: | C07C303/32 | 分类号: | C07C303/32;C07C309/42;C07C381/12;C07C68/06;C07C69/96;G03F7/004 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 王玉 |
地址: | 215100 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种单组份分子玻璃及其制备方法和应用。该单组份分子玻璃的制备方法包括将多羟基酚、催化剂、羟基保护基单体于容器中混合并充分反应,得到产物A;将产物A、催化剂、溴乙基苯磺酸钠于容器中混合并充分反应,得到产物B;将产物B、鎓盐溶于溶剂中,于室温下反应后得到产物,用水洗涤产物3‑5次,得到目标产物C。该分子玻璃具有优异的性能:成膜性好、单分散、无分子链缠结;光产酸单元与分子玻璃通过化学键键接,改善了光产酸剂相分离、光刻中光产酸剂分布不均匀的问题。应用在光刻胶中,同步改善光刻胶的分辨率、感度和对比度,提高光刻胶的综合性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 单组份 分子 玻璃 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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