[发明专利]摄像面板及其制造方法在审

申请号：	202010146874.3	申请日：	2020-03-05
公开（公告）号：	CN111668244A	公开（公告）日：	2020-09-15
发明（设计）人：	美崎克纪	申请（专利权）人：	夏普株式会社
主分类号：	H01L27/146	分类号：	H01L27/146
代理公司：	北京市隆安律师事务所 11323	代理人：	权鲜枝;刘宁军
地址：	日本***	国省代码：	暂无信息
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摘要：	一种摄像面板及其制造方法，摄像面板(1)具备光电转换层(15)，通过在光电转换层(15)上具有第1开口(105a)的无机绝缘膜(105)覆盖光电转换层(15)的表面的一部分。在无机绝缘膜(105)上，设置有具有开口宽度大于第1开口(105a)的第2开口(106a)的有机绝缘膜(106)，在第2开口(106a)的内侧，保护膜(107)覆盖未被有机绝缘膜(106)覆盖的无机绝缘膜(105)的表面。保护膜(107)相对于包含酸的蚀刻剂的蚀刻速率等于或大于无机绝缘膜(105)。第1开口(105a)中的光电转换层(15)的表面、以及保护膜(107)的表面由电极(14b)覆盖。
搜索关键词：	摄像面板及其制造方法
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