[发明专利]一种单晶炉结构及其使用方法有效
| 申请号： | 202010147888.7 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN111254499B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 李朝红;李茂欣;沈伟华 | 申请（专利权）人： | 上海磐盟电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 谢绪宁;薛赟 |
| 地址： | 201600 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单晶炉结构及其使用方法，其包括上炉膛、下炉膛、保温筒、石墨坩埚、石英坩埚以及加热器，还包括冷却装置，所述冷却装置包括开设于下炉膛侧壁内的冷却水腔、连通于冷却水腔的进水管以及连通于冷却水腔的出水管；所述进水管远离冷却水腔的一端安装有冷却水泵，所述冷却水泵的进水口连通有冷却水箱，所述冷却水箱的一侧连通有补水管；所述出水管远离冷却水腔的一端连通有降温箱，所述降温箱安装于冷却水箱的顶部，所述降温箱的底部通过排水管与冷却水箱连通，所述排水管上安装有电动阀；所述降温箱内安装有降温机构。本发明便于对下炉膛进行降温，从而能够延长下炉膛的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 结构 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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