[发明专利]一种LIGA技术的埋丝光刻胶片及其制备方法有效
| 申请号： | 202010150760.6 | 申请日： | 2020-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN111430872B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 伊福廷;刘静;张天冲;王波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | H01P11/00 | 分类号： | H01P11/00;H01P3/10 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理有限公司 11200 | 代理人： | 司立彬 |
| 地址： | 100049 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种LIGA技术的埋丝光刻胶片及其制备方法，其步骤包括：1)选取两片PMMA光刻胶片和一有机丝；2)将该有机丝放在两片PMMA光刻胶片之间；3)将两所述PMMA光刻胶片相对的两面融合在一起包裹该有机丝，得到埋丝光刻胶片。本发明提供了一种全新的埋丝方法，与传统埋丝方法截然不同，而且埋丝位置易于调控且效率高，埋丝光刻胶片的成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 liga 技术 丝光 胶片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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