[发明专利]一种晶粒尺寸可控ITO陶瓷靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202010150796.4 | 申请日： | 2020-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN111394706B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 何季麟;孙本双;舒永春;刘洋;陈杰;曾学云 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 北京卫智易创专利代理事务所(普通合伙) 16015 | 代理人： | 朱春野 |
| 地址： | 450001 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： |
一种晶粒尺寸可控ITO陶瓷靶材的制备方法，包括：将质量份数为90～97的In |
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| 搜索关键词： | 一种 晶粒 尺寸 可控 ito 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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