[发明专利]光学处理设备在审
申请号: | 202010151249.8 | 申请日: | 2020-03-06 |
公开(公告)号: | CN111913360A | 公开(公告)日: | 2020-11-10 |
发明(设计)人: | 铃木俊成;延圣珍;韩京熙;明承镐 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人: | 李英艳;李志新 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开涉及一种光学处理设备,所述光学处理设备包括:腔室,平台设置在所述腔室中以保持基底;支撑件,位于所述腔室下方;腔室窗口,连接到所述支撑件并允许光穿过所述腔室窗口;以及缓冲部,连接到所述腔室的下部并连接到所述腔室窗口。在所述缓冲部中限定的通路与所述腔室窗口和第一开口重叠,所述第一开口限定在所述腔室的所述下部中。 | ||
搜索关键词: | 光学 处理 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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