[发明专利]一种镜面材料平整度检测装置有效
申请号: | 202010161587.X | 申请日: | 2020-03-10 |
公开(公告)号: | CN111156932B | 公开(公告)日: | 2021-08-27 |
发明(设计)人: | 王福亮;姚毅;邢志广 | 申请(专利权)人: | 凌云光技术股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30 |
代理公司: | 北京弘权知识产权代理有限公司 11363 | 代理人: | 逯长明;许伟群 |
地址: | 100094 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请公开了一种镜面材料平整度检测装置,包括:光源、准直镜组、材料支撑部件、漫射屏、图像探测单元和图像处理单元;所述光源发出的光经过所述准直镜组准直后投射在所述待检测镜面材料,再经所述待检测镜面材料反射后到达所述漫射屏。光线透过所述漫射屏后,经所述图像探测单元对所述漫射屏的透射光线成像,经图像处理单元处理后获知待检镜面材料的起伏即平整度的分布。本申请提供的镜面材料平整度检测装置,成本、效率、复杂度适中,适用于价格低廉但产量巨大的镜面材料。 | ||
搜索关键词: | 一种 材料 平整 检测 装置 | ||
【主权项】:
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