[发明专利]一种物料传输装置有效
| 申请号： | 202010165327.X | 申请日： | 2020-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN111252536B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 王冰冰 | 申请（专利权）人： | 上海御微半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90;B65G29/00;B65G47/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种物料传输装置，包括：基底库，被配置为存储基底；机械手，可拆卸地安装有叉子，所述叉子被配置为取放所述基底，所述机械手被配置为通过所述叉子移动所述基底；预对准单元，被配置为对基底预对准；输出物料单元，被配置为输出基板以供后续工艺处理基底；叉子库，被配置为存储至少两种不同类型的叉子。本发明实施例提供一种物料传输装置，以处理至少两种不同类型的物料。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物料 传输 装置 | ||
【主权项】：
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