[发明专利]半导体器件及其制造方法在审
申请号: | 202010166766.2 | 申请日: | 2020-03-11 |
公开(公告)号: | CN111697056A | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | A·马哈茂德;R·魏斯;A·维尔梅罗特 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技德累斯顿公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/808;H01L29/861;H01L21/335;H01L21/329 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 邬少俊 |
地址: | 德国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了一种半导体器件,其包括具有第一掺杂类型的多个第一半导体层(110)和与第一掺杂类型互补的第二掺杂类型的多个第二半导体层(120)的层堆叠体。半导体器件还包括:邻接多个第一半导体层(110)的第一半导体器件(M1)的第一半导体区(15);第一半导体器件(M1)的至少一个第二半导体区(14),其中至少一个第二半导体区(14)中的每个邻接多个第二半导体层(120)中的至少一个,并且与第一半导体区(15)间隔开;以及第三半导体层(130),其邻接层堆叠体(110,120)以及第一半导体区(15)和至少一个第二半导体区(14)中的每个,其中第三半导体层(130)包括在第一方向(x)上布置在第一半导体区(15)和至少一个第二半导体区(14)之间的第一区域(131)。半导体器件还包括从第三半导体层(130)的第一表面(101)延伸到第一区域(131)中的第一或第二掺杂类型的第三半导体区(140,142)。 | ||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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