[发明专利]具有阻挡组件的微机电红外光感测装置有效
| 申请号： | 202010190242.7 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113029343B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 李柏勋;陈明发;罗英哲;黄肇达 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00;G01J5/20;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有阻挡组件的微机电红外光感测装置，其包含基板、感应板、多个支撑组件及多个阻挡组件。基板包含红外光反射层。感应板包含红外光吸收层。该些支撑组件设置于基板上，每一支撑组件连接感应板，使感应板可悬浮于红外光反射层的上方。该些阻挡组件可设置于基板及感应板之间。当感应板朝向红外光反射层移动而使该些阻挡组件抵触基板或感应板时，感应板与红外光反射层之间的间距可实质上等于至少一个阻挡组件的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 阻挡 组件 微机 红外光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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