[发明专利]一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装在审
| 申请号： | 202010194652.9 | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN113492313A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 陈文斌;刘斌;丁金滨;江锐;沙鹏飞;冯泽斌 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B23P21/00 | 分类号： | B23P21/00;H01S3/038 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于激光技术领域，提供了一种准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，包括底板、阳极装配装置和阴极装配装置；阳极装配装置和阴极装配装置设置于底板的同一个面上；阳极装配装置，用于支撑阳极基座；阴极装配装置，用于支撑阴极陶瓷板和阴极，使阴极装配于阴极陶瓷板上。本申请的准分子激光器放电腔的阳极及阴极组件装配工装，可以将其应用于装配流水线中，实现自动化装配，大幅提高了装配效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 准分子激光 放电 阳极 阴极 组件 装配 工装 | ||
【主权项】：
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