[发明专利]高频供给装置和高频电功率的供给方法在审
| 申请号： | 202010194918.X | 申请日： | 2020-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN111756338A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 井上三也;芦田光利 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H03F3/20 | 分类号： | H03F3/20;G01R31/28;H03F3/189 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供高频供给装置和高频电功率的供给方法。该高频供给装置包括：将从振荡器供给的高频放大而供给到负载的放大部；检测从放大部供给到负载的电流、电压或者电功率的参数的参数检测部；供给驱动放大部的驱动电流的电流供给部；指令信号输出部，其基于检测到的参数，输出改变放大部的放大率的指令信号以使得该参数成为目标值；以及第1异常检测部或者第2异常检测部，其中第1异常检测部监视指令信号来检测是否存在异常，第2异常检测部包含检测驱动电流的电流检测部和存储该驱动电流的上限值及下限值的电流数据存储部，并基于该上限值和下限值检测是否存在异常。本发明能够在供给高频电功率时掌握放大部的劣化或者检测器的异常。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 供给 装置 电功率 方法 | ||
【主权项】：
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