[发明专利]平坦度得到改善的薄膜蒸镀用掩膜组装体及其制造方法有效
| 申请号： | 202010202266.X | 申请日： | 2020-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN113308666B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 庾弘宇 | 申请（专利权）人： | 皮姆思株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 罗银燕 |
| 地址： | 韩国仁川市防筑*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及平坦度得到改善的薄膜蒸镀用掩膜组装体及其制造方法，包括：准备步骤，准备四边框形态的框架及薄膜掩膜；冲压步骤，通过以上述框架的4个边中心部为基准使4个角向下方变形的矫正力来塑性变形规定间隔；以及掩膜拉伸接合步骤，拉伸上述掩膜，来使其与受到上述矫正力的框架相接合。据此，在四边框形框架拉伸薄膜掩膜来接合而成的薄膜蒸镀用掩膜组装体，通过提供以框架的4个边中心部为基准使4个角向下方变形的矫正力，可使掩膜应力与框架应力相互抵消。结果，可尽可能提高掩膜拉伸力，并可提高掩膜下垂减少效果，与掩膜拉伸力的增加无关地，可改善掩膜组装体的平坦度。 | ||
| 搜索关键词： | 平坦 得到 改善 薄膜 蒸镀用掩膜 组装 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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