[发明专利]一种光刻机运动台系统和光刻机在审
| 申请号： | 202010204433.4 | 申请日： | 2020-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN111240159A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 夏冬;董军辉;周俊满 | 申请（专利权）人： | 夏冬 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州高炬知识产权代理有限公司 44376 | 代理人： | 李顺 |
| 地址： | 244000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明属于光刻技术领域，具体的说是一种光刻机运动台系统和光刻机，包括基座和基座上的工作台，工作台与基座之间设有随动台，随动台一侧固连有反光板，基座上方两侧对称设有一号支架与二号支架，一号支架上安装有倾斜向下的激光发射器，二号支架上与激光发射器对应位置设有感光板，感光板与激光发射器均通过控制器连接电源；激光发射器发出的激光经反光板反射后打在感光板上；随动台与水平驱动单元之间设有一组补偿单元，补偿单元通过控制器连接电源；本发明通过补偿单元补偿随动台受热后引起的变形。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机运 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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