[发明专利]一种蒸镀装置及蒸镀方法在审
| 申请号： | 202010219586.6 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111270204A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 王浩;祝晓钊;朱凯;梁舰;王徐亮 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃有机光电技术研究所有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜成型技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置及蒸镀方法。该蒸镀装置包括储料机构、送料机构和蒸发机构，储料机构包括储料腔体和储料加热单元，储料腔体的上端和下端分别设置有储料进料口和储料出料口，储料加热单元用于将固体材料加热至熔融态。送料机构包括连通器和送料加热单元，连通器的一端与储料出料口相连通，送料加热单元加热连通器内的熔融态材料。蒸发机构包括蒸发腔体，蒸发腔体的下端设置有与连通器的另一端相连通的蒸发进料口，蒸发腔体的上端设置有蒸发出料口，熔融态材料转化为气态，并从蒸发出料口排出，在此过程中，连通器一直处于动态平衡状态，确保材料不会长时间高温裂解，且能保证不开腔持续批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 装置 方法 | ||
【主权项】：
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