[发明专利]一种遮蔽板确定方法、镀膜方法和装置有效
| 申请号： | 202010221589.3 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN111349885B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 罗晋;张飞;卫耀伟;李树刚;李海波;李洁;唐明;王震;吴倩;潘峰;罗振飞;胡建平;张清华;刘民才;王健 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 唐正瑜 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请提供一种遮蔽板确定方法、镀膜方法和装置，应用于对反向行星式旋转镀膜工艺中遮蔽板的形状进行确定，所述方法包括：获取待镀膜元件上多个待镀膜点的初始膜厚，以及获取待镀膜元件的尺寸和镀膜设备的尺寸；根据所述待镀膜元件的尺寸和所述镀膜设备的尺寸确定出遮蔽板的多个待设定区域，以及每一待设定区域对应的多个待镀膜点；根据每一待设定区域对应的多个待镀膜点的初始膜厚，计算得到待镀膜点对应遮蔽板的展开角；根据所有的待镀膜点对应的展开角，确定目标遮蔽板。针对多个区域对应的待镀膜点分别确定出符合该区域镀膜点遮蔽要求的遮蔽板的展开角，从而得到针对该非圆形待镀膜元件设计的目标遮蔽板，保证膜厚控制的效果良好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 遮蔽 确定 方法 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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