[发明专利]半导体加工设备的线圈驱动装置在审
| 申请号： | 202010225926.6 | 申请日： | 2020-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN111270303A | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 冯祥雷 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B25/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体加工设备的线圈驱动装置，该装置包括第一驱动机构、第二驱动机构和切换机构，其中，第一驱动机构与切换机构连接，用于通过切换机构向线圈提供能够使之以第一速度运动的动力；第二驱动机构与切换机构连接，用于通过切换机构向线圈提供能够使之以第二速度运动的动力，第二速度大于第一速度；切换机构用于在第一状态和第二状态之间切换，第一状态为将第一驱动机构与线圈接合，且将第二驱动机构与线圈分离；第二状态为将第二驱动机构与线圈接合，且将第一驱动机构与线圈分离。本发明提供的半导体加工设备的线圈驱动装置，其可以以两种不同的速度驱动线圈运动，从而可以满足晶体生长的不同阶段的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 加工 设备 线圈 驱动 装置 | ||
【主权项】：
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