[发明专利]检查装置及检查方法在审

专利信息
申请号: 202010226919.8 申请日: 2020-03-27
公开(公告)号: CN111751623A 公开(公告)日: 2020-10-09
发明(设计)人: 高桥正 申请(专利权)人: 日本电产理德股份有限公司
主分类号: G01R27/14 分类号: G01R27/14;G01R1/073
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 杨文娟;臧建明
地址: 日本京都府京都*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种容易减少开关的数量的检查装置及检查方法。检查装置包括:多个供给开关对(44),包括与电源部(42)连接的正供给开关(Fp)及负供给开关(Sp);多个检测开关对(45),包括与检测部(43)连接的正检测开关(Sp)及负检测开关(Sm);供给探针(P),经由正供给开关(Fp)及负供给开关(Fm)而与电源部(12)连接;检测探针(P),经由正检测开关(Sp)及负检测开关(Sm)而与检测部(43)连接;以及检查处理部(5);并且检查处理部(5)将正供给开关(Fp1)、负供给开关(Fm3)、正检测开关(Sp2)及负检测开关(Sm4)导通,并且基于由检测部(43)所检测的检测电压(V)来进行接片端子(104)的检查。
搜索关键词: 检查 装置 方法
【主权项】:
暂无信息
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