[发明专利]掩膜版组件及其工艺方法、制作功能膜层的工艺方法在审
| 申请号： | 202010232184.X | 申请日： | 2020-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN111254387A | 公开（公告）日： | 2020-06-09 |
| 发明（设计）人： | 徐海 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方卓印科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥市新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种掩膜版组件及其工艺方法、制作功能膜层的工艺方法，涉及OLED制作技术领域，用于解决现有的掩膜版无法制作与具有悬空区的异形屏对应的阴极层图案的问题。本发明掩膜版组件，包括：多个掩膜版，多个所述掩膜版上分别开设有与显示屏的不同区域对应的蒸镀开口、且多个所述掩膜版的蒸镀开口所组成的图案与所述显示屏的图案相同。本发明的掩膜版组件用于制作异形屏的功能膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 组件 及其 工艺 方法 制作 功能 | ||
【主权项】：
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