[发明专利]半导体装置及半导体封装体在审
申请号: | 202010232272.X | 申请日: | 2020-03-27 |
公开(公告)号: | CN111755404A | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 竹井祥司;古贺佑士 | 申请(专利权)人: | 罗姆股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶;陈彦 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 半导体装置包含:半导体层,其具有第1面;绝缘层,其形成在上述半导体层的上述第1面上;Cu导电层,其形成在上述绝缘层上,由以Cu为主成分的金属构成;第2绝缘层,其形成在上述绝缘层上,且被覆上述Cu导电层;Cu柱状体,其使上述第2绝缘层沿着厚度方向延伸且由以Cu为主成分的金属构成,并与上述Cu导电层电连接;以及中间层,其形成在上述Cu导电层与上述Cu柱状体之间,由具有比上述Cu导电层和上述Cu柱状体的线膨胀系数小的线膨胀系数的材料构成。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 封装 | ||
【主权项】:
暂无信息
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