[发明专利]一种掩膜板有效
| 申请号： | 202010240741.2 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN111411323B | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | 王亚玲;肖志慧;宋平;杨志业;单为健 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12;C25D7/04;C23C16/06 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 魏朋 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜板，所述掩膜板图案区和遮挡区；所述图案区包括阵列排布的蒸镀孔；所述遮挡区内设有至少一个中空腔体。通过在掩膜板遮挡区开设有中空腔体，使得掩膜板可以设置为规则形状，而且由于中空腔体的存在，消除了遮挡区和图案区的差异，从而使掩膜板在张网过程中受力均匀，进一步降低了掩膜板在张网过程中的褶皱现象.保证蒸镀精度和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 | ||
【主权项】：
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