[发明专利]一种薄膜压电声波滤波器及其制造方法有效
| 申请号： | 202010245425.4 | 申请日： | 2020-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN112039491B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 黄河;罗海龙;李伟 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/64 | 分类号： | H03H9/64 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜压电声波滤波器及其制造方法，其中薄膜压电声波滤波器包括：第一基板；置于所述第一基板上的多个声波谐振器单元，每一所述声波谐振器单元包括压电感应片体、用于对所述压电感应片体施加电压的且彼此相对的第一电极、第二电极；位于所述第一基板上的盖帽层，所述盖帽层至少包围两个所述声波谐振器单元，以在所述声波谐振器单元与所述盖帽层之间形成第一空腔；所述盖帽层包括：具有设定孔径之释放孔的盖帽层本体，以及密封所述释放孔的封盖层，部分所述封盖层嵌入部分所述释放孔内。本发明能够解决上空腔的封装工艺可靠性低，封盖层的材料进入到空腔的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 压电 声波 滤波器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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