[发明专利]用于半导体装置中的电容减小的方法和设备

摘要

本发明描述与半导体装置中的电容减小有关的系统、设备和方法。一种实例方法可包含在形成于半导体衬底上的感测线的一部分之上形成仅氧化物间隔物，以使所述感测线与半导体装置的存储节点触点区分开，且减小所述感测线与所述存储节点触点区之间的电容。所述方法可进一步包含：在所述半导体装置的与所述感测线相邻的有源区域中形成所述存储节点触点区，且将所述感测线导电连接到所述存储节点触点区，以使存储节点能够被所述感测线感测。