[发明专利]硅片检测分选机及其分选方法在审

专利信息
申请号: 202010259464.X 申请日: 2020-04-03
公开(公告)号: CN111482374A 公开(公告)日: 2020-08-04
发明(设计)人: 季徐华;杨海波 申请(专利权)人: 无锡森顿智能科技有限公司
主分类号: B07C5/00 分类号: B07C5/00;B07C5/342;B07C5/02;B07C5/36
代理公司: 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 代理人: 聂启新
地址: 214000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及硅片检测分选机及其分选方法,包括机架,其上安装工作平台,工作平台上从左至右依次设置上料工位、检测工位和分类工位,工作平台中部安装依次贯穿上料工位、检测工位和分类工位的动力输送带;检测工位包括暗箱一和暗箱二,暗箱一与暗箱二内分别安装相机,一个相机镜头朝下且其位于动力输送带上方,另一个相机镜头朝上且其高度低于动力输送带的高度;移载机构将硅片从料架逐片移至动力输送带上,由暗箱一中的相机进行正面检测,在转盘机构辅助下由暗箱二中的相机进行反面检测,外观合格的硅片随动力输送带流至分类工位分选至不同色系料盒中;本发明实现了硅片的双面外观检测并按色系分类,工作效率高,极大地助力于硅片的分选。
搜索关键词: 硅片 检测 分选 及其 方法
【主权项】:
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