[发明专利]反射式光栅尺有效
申请号: | 202010259720.5 | 申请日: | 2020-04-03 |
公开(公告)号: | CN113124760B | 公开(公告)日: | 2022-08-02 |
发明(设计)人: | 巫孟良;李力强;李康辉;吴海明 | 申请(专利权)人: | 广东万濠精密仪器股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G02B5/18 |
代理公司: | 深圳市优赛诺知识产权代理事务所(普通合伙) 44461 | 代理人: | 刘斌强 |
地址: | 523000 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开一种反射式光栅尺,包括有光源、镜头、主光栅尺、副光栅尺和接收单元,所述主光栅尺上设有第一光栅条纹,所述副光栅尺上设有与所述第一光栅条纹相对应的第二光栅条纹,所述接收单元与副光栅尺为相对平行间隔设置,所述光源设置于所述镜头上,所述第一光栅条纹包括RI码道和增量码道,RI码道依次包括第一不反光区、增量码道区、第一反射区、增量码道区、第一不反射区、增量码道区、第二反射区、第二不反光区,接收单元上对应RI码道位置设有接收区,所述接收区依次包括Z+信号区、A+信号区、B+信号区、A‑信号区、B‑信号区、Z‑信号区。本发明优点在于:主光栅与副光栅距离拉远至菲捏尔焦面,RI信号依然强且RI触发位置精准的反射式光栅尺。 | ||
搜索关键词: | 反射 光栅尺 | ||
【主权项】:
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